二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 Mark II #9387879 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 Mark II是一種高性能反應器,旨在使薄膜沈積過程更簡單、效率更高。腔室的設計結合了單晶片和批處理能力以及對過程的自動控制,以確保可靠的結果。它提供了各種各樣的工藝選擇,包括化學氣相沈積(CVD)、物理氣相沈積(PVD)和原子層沈積(ALD)。商會最大限度地提高吞吐量和質量,同時減少維護和工藝周期時間。它具有高效的處理體系結構,允許同時在多個基質上均勻沈積。該室由低壓加工室組成,配有溫度控制和沈積板。它還包括一個過程控制設備,允許用戶定制過程配方和監控處理參數。商會可用來存放各種材料。其溫度範圍為30-1000攝氏度,能夠處理揮發性和非揮發性成分。腔室還提供跨多層的均勻膜沈積,允許精確的材料分層。除了材料的均勻沈積外,商會還設有強大的清潔系統。該單元確保腔室的所有部件都沒有汙染物。它還包括一個Catalyst Enhanced Oxidation machine,允許在室內分解有機材料。Chamber可用於多種應用,如生產半導體、存儲器和光電子。也適用於生產多種其他薄膜,如塗料、屏障、電絕緣等。腔室的多功能性允許使用者同時處理多種基板,使其成為大規模生產的理想選擇。最後,該腔室是為長期操作而設計的。它具有一系列可靠性功能,例如自動晶片加載和卸載,可減少操作員的幹預並簡化維護程序。這樣可確保最小停機時間,並確保腔室在未來數年內保持峰值狀態。
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