二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #293621288 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Chamber for P5000是一種用途廣泛的反應器,專為各種材料沈積和蝕刻應用而設計。它具有一個大的真空室，直徑為18英寸，長度為24英寸。腔室可達到低於5.0 x 10-9 Torr的底壓，與適當的泵送系統配對。它還配備了自動升降帽清洗系統，以盡量減少除氣並改善處理結果。AMAT P5000 Chamber配備了工藝氣體引入系統（PGIS）,該系統可提供多達三個完全可控的閥門,並具有獨立的流量控制和混合閥。這可以精確控制沈積和蝕刻過程，為不同的材料和應用提供多種工藝配方。該室還具有電磁（脈沖）等離子體源和計算機控制的快速等離子體（RPC）系統，可用於創建高級等離子體過程，同時提供卓越的均勻性和過程控制。AMAT Chamber for P5000還配備了多區域供暖和制冷能力，允許嚴密的過程控制。它包括多個用於熱穩定性的雙銨加熱器和石英腔室壁，以及在高功率過程中保持腔室溫度的冷卻水口。P5000會議廳的設計便於維護，延長使用壽命，最短停機時間。它包括一個獨立的腔室監控器，用於監測沈積均勻性和工藝腔室功能。該腔室還包括一系列安全特性，如大型外部CCD視口、離子計和眾多安全聯鎖裝置。結合P5000應用材料室的先進技術及其廣泛的工藝配方和精密加工能力，是材料沈積和蝕刻應用的理想選擇。憑借其精心設計的結構，確保以高效可靠的方式進行優越的材料加工。