二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #293634885 待售

AMAT （APPLICED MATERIALS） P5000 Chamber是一種單晶片、間歇反應器,旨在對各種溫度範圍內的沈積流體進行精確控制。該室采用了最先進的設計，通過在反應堆內保持極低的均勻溫度輪廓，減少了顆粒汙染，避免了不均勻。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000室包括用於精確溫度控制的高性能高溫加熱設備。該加熱系統由均勻的薄膜陶瓷加熱元件、高密度的陶瓷絕緣層和蒸發氣體單元組成，以傳遞所需的溫度剖面。利用直流直流電源保持腔室溫度分布的均勻性,該電源可精確控制加熱元件的溫度和加工氣體量。AMAT P5000 Chamber包括自動化功能,可進行精確的流程監視、控制和數據記錄。該腔室包括一個裝卸機器人、一臺RF載荷鎖定機、一臺自動閥門工具和一個自動腔室壓力控制器，以確保精確控制和統一處理參數。基於模板的計算機控制資產使操作員能夠快速、輕松地設置和監控流程條件。該腔室的惰性鉑金腔室具有堅固的腔室門和氣密密封,可最大程度地降低加工過程中受到汙染的風險。其不銹鋼內壁和地板提供出色的傳熱和抵抗化學反應的過程氣體或沈積液。該腔室設計有兩個端口，一個用於沈積流體，一個用於廢氣，以確保對工藝環境的精確控制。腔室的環境監測模型確保氣體濃度或壓力的任何變化都得到快速準確的監測。該設備包括多個傳感器和監視器，允許對工藝環境進行精確控制。應用材料P5000室還包括一個高效的空氣過濾系統，以保護工藝環境免受有害的汙染。綜上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chamber是一種高性能、單晶片間歇反應器，設計用於各種應用的精確沈積。其最先進的設計提供精確的溫度控制、自動化的過程監測和控制，以及一個環境監測單位，以確保無汙染的過程。該室是實現高精度沈積的絕佳選擇。