二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #293653986 待售

AMAT P5000 Chamber是一種半導體加工工具，用於開發和制造先進的晶圓級器件。它是一種能夠控制大功率真空級沈積過程的多邊形等離子體反應器。P5000室具有先進的特點，包括大型工藝室、出色的熱控制、均勻的等離子體分布以及安全高效的操作。大的內室使大型基板的加工成為可能，如300 mm和450mm晶圓。熱控制由創新設計提供,具有單獨隔離的冷熱板,也可通過電子預調制來提供均勻的基板溫度。等離子體均勻分布由多區域磁增強射頻室和高密度淋浴電極保證。P5000室將腔室空間分成五個不同的區域，以盡量減少受汙染造成基板損壞的風險。它還采用了一種新的等離子體線路發生器技術，使腔室能夠保持均勻的等離子體以實現高通量過程。該室還配備了全氣閘系統，以減少汙染水平，從而能夠有效運作。腔室能夠生產純氧化物、氮化物、碳化物和耐火金屬。它配備了一個八角形等離子體石英源、一個壓印的感應耦合等離子體源和一個增強的電子回旋共振源，提供了最高水平的沈積精度。它特別適合於III-V器件，如砷化氙、氮化氙和砷化鋁的（GaAs/GaN/AlGaAs）。應用材料P5000室旨在為高精度設備生產和研究提供安全可靠的環境。它結合了一個大的加工室與直觀的用戶界面，先進的等離子體和熱控制，以及可靠的汙染控制。這確保了高質量的制造可產生經濟高效的工藝。