二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #9213363 待售

AMAT P5000 Chamber是一種用於薄膜加工的超高真空反應器。這種尖端的腔室適合任何類型的大氣，而多樣性和柔韌性是標配的，允許反應堆處理不同的底物和過程。反應堆本身由不銹鋼、鋁和無氧銅制成，確保了可靠的性能和壽命質量。利用特高壓腔壁，反應堆還能夠在惰性大氣中處理困難和反應性物質。APPLICED MATERIALS P5000 Chamber也有專門的部件，如兩區加熱元件和射頻匹配網絡，以確保最佳性能和所需的薄膜。腔室可操作至3000攝氏度，工作壓力範圍為1.3x10-10 mbar至1x10-6 mbar。它可以在整個腔室中形成嚴密的溫度和壓力剖面,以實現材料與最佳工藝之間的協同作用。此外，該室還具有一個混合索引光柵掃描能力，以統一的目標基板區域和一個完全可編程的機動化階段訪問整個基板。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chamber與多種源和引進系統兼容，包括電子槍、Thermion、離子槍、電子束和離子源。其先進的診斷、堅固的泵送系統和靈活的配置使其成為任何薄膜制造應用的理想選擇。該室易於安裝和維護，使用方便用戶的控制和診斷，簡化了流程和任務。AMAT P5000室具有許多先進的特點，是一種可靠且用途廣泛的薄膜加工反應器。它提供了最佳的工藝氣氛、嚴密的溫度和壓力剖面，以及各種工藝中均勻的基板覆蓋。由此，這座反應堆有助於實現高質量的薄膜元件和一致的產品。