二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #9255084 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 AMAT/APPLIED MATERIALS CHAMBER for P5000是一種高效的多模真空反應器,用於半導體工業中的許多工藝。用於晶片的蝕刻、沈積和退火。配備先進的真空設備、先進的動力和氣體輸送系統以及集成控制器。P5000室對反應條件提供高效、精確的控制，包括壓力、溫度和氣體組成。P5000系統采用密封高溫真空室。該室采用雙門設計，可提供有效的隔熱和工藝氣體隔熱。腔室的墻壁由石英制成，能夠承受高溫和高強度的工藝。腔室內部容積5.9升，可密封至10−6Torr底壓。P5000室利用先進的加工泵、質量流量控制器和氣體分配閥來精確調節氣體流量和壓力。質量流量控制器確保準確控制氣體流量和多種氣體的線路混合。P5000室配有先進的送電裝置。它包括一個寬頻率範圍為50 Hz-1 MHz的平面射頻源，以及頻率範圍高達4 MHz的熱燈絲源。動力輸送機允許精確控制等離子體的功率水平和均勻性，從而實現均勻的無功離子蝕刻過程。P5000工具還具有高分辨率溫度控制器,能夠將溫度升高到1000 °C。P5000資產的集成控制器使反應堆能夠輕松高效地運行。它的觸摸屏界面使訪問任務變得容易，並且它的高級編程選項允許優化過程控制。P5000還配備了壓力控制、失速檢測、熱防護等各種安全功能。AMAT/APPLIED MATERIALS/AMAT P5000 Chamber是半導體工業中許多工藝的通用可靠解決方案。其先進的真空、動力和氣體輸送系統、集成控制器和安全功能有助於確保高效、精確的過程控制。該P5000能夠在各種晶片上進行蝕刻、沈積、退火和其他工藝。