二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #9377276 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chamber是專門為執行各種微加工工藝而設計的工藝設備工作單元。它是一種堅固、高精度的設備，設計用於大型潛在應用，如納米光刻、納米材料生長和設備原型設計。它的工程和設計特性使其成為復雜、長期過程和高通量過程的理想空間。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chamber是一個垂直腔室，裝有冷凍泵和機械助推泵。它擁有專利的雙環單向ICP源，真空操作壓力範圍從粗糙到超高。兩個離子轟炸口和兩個法拉第盾牌位於該室的上下兩部分。腔室有一個可移動的頂蓋，便於進入晶片加載和底板可以從頂部或底部打開。整個腔室可以用垂直的滑動門關閉，從而密封腔室及其外部環境。該腔室配置性強，為樣品裝卸提供各種選擇，包括手動、自動盒式磁帶更換和原位基板更換系統。它可以支持多種氣體系統，如多元素離子或質量流控制器或單氣體儲存系統。此外，P5000室包括一個集成的真空單元控制器（ISC）和一個「智能」加熱機，它允許激光燒蝕、快速熱退火和其他高溫處理的集成。P5000室設計用於物理氣相沈積、濺射、CVD、蒸發、蝕刻、沈積、納米光刻、顆粒植入等多種工藝。該室的特點，連同它的構造和設計，提供了一個非常適合大容量工藝的環境。它還提供了延長的使用壽命、可靠性、低維護成本和高質量的靜水軸承工具。AMAT APPLIED MATERIALS P5000 Chamber是一個先進的高性能室，設計用於各種微加工工藝。它提供了卓越的效率、延長的使用壽命、多種配置以及精確控制過程參數和環境條件的能力。因此,它是需要高精度結果的應用程序的理想選擇。