二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chambers for Centura DPS II #293664214 待售

AMAT Centura DPS II是一個先進的高性能單晶圓反應堆，為用戶提供高吞吐量和最大正常運行時間。非常適合生產用於電子工業的優質矽片。該機具有獲得專利的雙工藝、單晶圓設備（DPS）技術，使其能夠在一個反應堆腔室上執行多種工藝功能。它配有兩組圓柱形腔室，每個腔室最多可處理24個晶圓。腔室具有堅固的自由浮動、雙密封設計，可防止汙染和高雜散磁場。APPLIED MATERIALS Centura DPS II由四個獨立的腔室組成,即負載鎖、過程、清除和出口腔室。載荷鎖室是矽片裝入的第一個腔室。這個腔室裝有抗菌汙染防護技術，防止汙染物進入系統。該工藝室裝有可調節功率水平的精確控制射頻加熱單元，其設計目的是在整個腔室內均勻的基板溫度下實現最大屈服。該腔室還配備了可用於配置和控制工藝參數的板載工藝控制器。凈化室設計用於安全地清除任何剩余的反應氣體和顆粒，有助於確保清潔過程的結果。出口室的設計是為了確保從機器中安全去除晶片。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II具有高級診斷和監控功能。這座反應堆裝有一臺過程控制計算機（PCC），這是一臺控制其運行的主控制計算機。PCC還具有遠程監控功能,用戶可以從世界上幾乎任何地方監控反應堆的性能。該工具還提供詳細的診斷和警報功能,以確保資產的最佳性能。總而言之，AMAT Centura DPS II是一種先進的單晶片反應器，旨在為電子工業生產高質量的矽片。它配備了四個單獨的房間，每個房間都是為特定目的而設計的，並具有先進的診斷和監測能力。它采用最新的工藝控制技術設計，具有在一個反應堆腔室上執行各種工藝功能的能力。