二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chambers for Centura eMax #293664215 待售

AMAT Centura eMax是一個處理晶圓的腔室。它是一種可靠、堅固的設備,具有廣泛的工藝能力和可重復性。這種腔室具有1.0 x 10-6 Torr的底壓，可以很容易地適應直徑最大到8英寸的大範圍晶片。eMax腔室由鋁制底板和集成晶圓加熱器、頂板、逃逸口和靜電卡盤組成。電源、溫度控制器、晶片裝載機和卸載機都是集成系統的一部分。晶圓加熱器為晶圓提供了最高250°C的穩定溫度，允許廣泛的奇特過程。eMax腔室利用獨特的靜電卡盤單元在晶片表面提供均勻、均勻的靜電力應用。這樣可以實現非同尋常的均勻性和可重復性,因為它可以確保晶片在處理過程中牢固地固定在適當的位置。此外，該機還包括一個自動化的氣體輸送工具，以提供對原位過程環境的精確控制。這可確保腔室保持在所需的溫度和壓力下，並確保適當的氣體混合物可用於該過程。二維晶圓居中資產確保晶圓在加工過程中始終居中，確保晶圓穩定性和最大均勻性。集成劑量控制器提供快速、準確的劑量測控。最後，該室方便用戶，易於維護。先進的監控模型和用戶界面使查看實時數據和在需要時采取糾正措施變得簡單。界面也是可定制的,因此可以根據用戶的個人需求進行定制。APPLIED MATERIALS Centura eMax腔室是一種可靠、堅固的晶圓加工設備。其廣泛的功能、可重復性和易用性使其成為任何應用程序的理想系統。