二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPN #148641 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPN是用於集成電路（IC）制造的工具。它是一種用於在矽片上形成介電膜的等離子體反應器。AMAT DPN由四個組成部分組成；真空室、射頻（RF）等離子發生器、電極和配方控制器。真空室是一個圓柱形的容器，內徑通常在0.35至2.13米之間。它由不銹鋼制成，通常用油擴散泵進行真空密封。它在沈積過程中保存著通常是矽片的基材。射頻等離子體發生器用於產生沈積過程所需的帶正電的離子和電子。這種射頻發生器產生一種高頻（HFRF）波形，提供給插入真空室的天線。這個波形被調制來引導電離粒子的流動，這些粒子被用來將所需的物質沈積在晶圓上。發電機由幾個不同的組件供電，包括高壓電源、波形發電機和波形監視器。電極安裝在真空室內部，由鋁、鎢或銅制成。電極的形狀和大小因發生沈積的類型而異。例如，平面電極通常用於擴散應用，而環形電極則用於化學氣相沈積（CVD）應用。配方控制器是控制沈積過程中使用的參數的計算機系統。這包括HFRF波形的時序和強度、電極功率水平和溫度、真空室內的溫度和壓力以及沈積的脈沖頻率。它負責確保沈積過程準確並符合客戶的要求。總之,APPLICED MATERIALS DPN是一種用於集成電路制造的工具.它由四個組成部分組成；真空室、射頻等離子體發生器、電極和配方控制器。DPN產生帶正電的離子和電子，用於將介電膜沈積在基板上，通常是矽片。借助配方控制器，按照客戶的要求，精確控制沈積過程，在晶片上產生一層材料。