二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS G5 Mesa #9271010 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5 Mesa是一種專門為半導體和光電工業中的薄膜沈積而設計的高溫反應器。該反應器以化學氣相沈積（CVD）原理為基礎，采用熱線方式生產單晶薄膜。該設備提供了一個特殊的控制水平，允許操作員創造非常均勻的塗層具有出色的附著性能。CVD工藝發生在耐燃石英管中，使其適合與各種惰性和腐蝕性氣體兼容。AMAT DPS G5 Mesa是一種全自動半導體反應堆，能夠達到高達1200 °C的溫度。它配有錯綜復雜的溫度控制系統和先進的熱力學傳感器，以確保整個沈積過程的熱管理均勻。反應堆可以以連續模式或脈沖模式運行，具有調整沈積速率參數的能力，以便精確調節反應堆的性能。它還配備了一個掩蔽裝置，便於在不同的沈積速率之間切換，甚至在石英管的不同區域內沈積不同的材料。除了常規的CVD工藝外，APPLIED MATERIALS DPS G5 Mesa還支持多膜沈積、離子轟擊、濺射、脈沖等離子體沈積和蒸發等多種先進工藝。這些工藝在半導體工業中有多種應用，從表面改性到電介質、導體、3D納米結構，甚至光電材料。DPS G5 Mesa還提供了廣泛的安全功能，包括自動壓力和溫度控制、泄漏檢測以及緊急關閉。為確保操作可靠，該機配備了廣泛的內置安全特性。這些特點，加上單位提供的清潔室級真空環境，使其成為各種先進材料沈積工藝的理想選擇。