二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DxZ #9218980 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DxZ Reactor是一種先進的金屬氧化物等離子體蝕刻工具，專門為生產精確精確的冶金結構而設計。AMAT DxZ Reactor設計用於提供高效、高密度的等離子體蝕刻材料，如鋁、銅和其他氧化物，用於生產復雜的冶金結構。APPLIED MATERIALS DxZ Reactor使用直流（DC）電壓在低壓氫基等離子體上的應用。直流功率由循環耦合高頻（HF）和低頻（LF）波的振蕩器產生，允許調整蝕刻的大小、形狀和密度，同時在整個過程中保持離子和自由基種類的高度均勻分布。HF波和LF波的結合導致了有效的蝕刻過程，提高了蝕刻均勻性和更高的蝕刻速率。DxZ反應堆由先進的過程控制系統控制，該系統使用反饋信號來調整功率水平和氣體流量，以改進對蝕刻材料的控制。反饋提供了有關蝕刻工藝化學性質的實時數據，有助於確保每次都實現所需的冶金結構。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS DxZ Reactor也可以自動化，在均勻樣品上提供完全可重復的蝕刻。AMAT DxZ反應堆能夠蝕刻多種材料，包括單層或多層堆棧、穿孔結構和微觀特征，從而能夠產生復雜的圖樣和結構。除了蝕刻操作外，APPLIED MATERIALS DxZ Reactor還能進行鈍化操作、薄膜沈積和模式轉移。這些能力使DxZ反應堆成為冶金研究和冶金微結構生產的寶貴工具。適用於特定元素教育的分析工具，如SEM成像和EDX光譜學，也可以用於分析X-Y蝕刻樣品。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS DxZ Reactor是一種先進的金屬氧化物蝕刻工具，專門為生產復雜的冶金結構而設計。AMAT DxZ反應堆采用HF和LF波的組合，以提高均勻性的方式實現高效蝕刻速率。反應堆由先進的過程控制系統控制，也可自動用於可重復樣品。此外，應用材料DxZ反應器能夠進行鈍化操作、薄膜沈積和模式轉移。這些特性使得DxZ反應堆成為冶金研究和復雜結構生產的寶貴工具。