二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Electra #9088658 待售

AMAT/APPLIED MATERIALT Electra是屬於高效薄膜沈積系統家族的大型化學氣相沈積（CVD）反應器。這種用途廣泛的反應器設計用於將各種材料層（包括金屬、氧化物、氮化物和碳化物）沈積在玻璃、薄膜、陶瓷和聚合物等剛性和柔性基板上。AMAT Electra的高效性能是通過自動化晶圓處理、實時調諧和現場過程監控等集成過程控制功能實現的。應用材料Electra利用三種主要成分在基板表面上沈積超薄膜：封閉式氣流設備、渦輪分子泵和低壓真空室。封閉式氣流系統包含氣體入口和出口的組合，設計用於氣體入口和排氣。該單元為伊萊克特拉的反應室提供精確、持續控制的氣體供應。渦輪分子泵是一個獨立的與反應室相連的子系統，其目的是將腔室排空到適合CVD處理的壓力範圍。最後，低壓室是一個裝有包含獨立隔離室的整合式排氣機的隔離器。AMAT/APPLIED MATERIALT反應堆能夠在廣泛的基材上沈積廣泛的材料層。該工具提供了優越的薄膜均勻性，具有優於4E-04的均勻性指數（根據反射高能電子衍射測量）。在AMAT Electra上可以研究多種不同的膜，如金屬氧化物、氮化膜和多層體系。該反應堆的多功能性通過形成不同表面形態的靈活性得到進一步增強，可以根據客戶的需求進行定制。APPLIED MATERIALT Electra還提供了一系列用於過程優化和控制的功能。實時調諧功能使沈積過程能夠在各種條件下進行優化。此外,現場監控功能使操作員能夠實時監控配方參數,從而能夠快速高效地診斷問題。自動晶圓處理還有助於最大限度地減少停機時間並最大限度地提高吞吐量。總之，Electra是一種先進的CVD資產，它提供了在各種基板上沈積超薄膜的能力。AMAT/APPLIED MATERIALT Electra的特點，如其廣泛的氣流和工藝優化，使得連續和自動化的操作能夠高效沈積。AMAT Electra適用於多種薄膜應用，如金屬氧化物、氮化膜和多層系統，使其成為最通用的沈積系統之一。