二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #293594345 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler是一種高溫高壓化學氣相沈積(CVD)反應器,能夠制造先進材料,如薄膜。AMAT Enabler能夠在水平和垂直位置運行,因此它是從半導體器件到微機電系統(MEMS)等應用的理想選擇。應用材料啟用器的核心是一個密封反應室,其中化學反應是通過引入反應性氣體引起的。腔室設有兩條可完全調節的氣體入口管線和兩條可調節的排氣管線,允許對氣體流動進行精確控制。該室還配備了診斷和安全功能,如壓力表和溫度傳感器,以確保安全和成功運行。在材料加工中,Enabler利用CVD,一種使用註入反應物在基板上沈積薄膜的工藝。這一工藝是有利的,因為它提供了良好的步長覆蓋和層均勻性,並且與從半導體到金屬、氧化物和氮化物的各種材料兼容。AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler的反應室設計用於高壓高溫操作。最高工作溫度為1200 °C,壓力範圍為1至大氣。腔室可容納多種基材,包括晶片、模具和MEM器件。AMAT Enabler也是高度可配置的,為用戶提供利用多種光源的能力,包括加熱的磁化器、升空光源和電子束(電子束)蒸發器。這種靈活性允許對不同的反應環境和材料進行實驗。APPLIED MATERIALS Enabler是一種先進而強大的材料制造和研究工具。其用戶友好的設計、堅固的構造和定制功能使其成為任何實驗室或生產設施的寶貴資產。
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