二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #293753880 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler是一種先進的高溫熱反應器，設計用於處理一系列材料。該反應堆又稱等離子體增強型CVD或化學氣相沈積反應堆，主要用於半導體工業。它是一種多室設備，有一個中央加工室，裏面裝有等離子體產生源，周圍環繞著一系列石英壁。隔熱室壁可保持持續高溫，並確保整個室內熱量均勻分布。該系統旨在控制薄膜或塗層在微芯片或晶片上的沈積。這是通過通過氧氣、氮氣、氣體摻雜矽或這些氣體的組合通過感應耦合等離子體（ICP）源來實現的。ICP源的設計目的是產生必要的電離粒子或離子，然後將其對準基板表面。這造成晶片表面和電離粒子之間的反應，導致產生熱量，從而導致層膜沈積在基板上。AMAT Enabler的設計考慮了幾個安全功能。該裝置經過測試以滿足行業標準壓力和溫度要求，設計為能夠處理高達1000 °C的峰值溫度。該機還配備了液壓快門和先進的壓力和溫度控制機制，以便對沈積過程進行精確的控制和監測。該工具旨在提供較高的沈積速率，並且可以加工各種金屬和材料，包括矽、鈦、鎢等。這座反應堆因其靈活性和能效特點而受到高度重視，是一系列半導體制造和工程應用的可靠選擇。