二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #9093619 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler是一種專為制造先進半導體材料而設計的反應堆。它提供了環境控制、過程靈活性和吞吐量能力,以應對業界最苛刻的挑戰,包括高溫沈積和蝕刻。AMAT Enabler由一個綜合基室、一個容納物料來源和運輸系統的可移動頭以及過程控制所需的關鍵部件組成。該腔室的設計目的是最大限度地提高吞吐量，並為各種過程保持受控環境。可擴展的磁頭可以使光源在腔室之間快速移動,從而確保在大面積處理過程中具有極好的均勻性。腔室還允許高溫沈積和蝕刻。該系統的設計目的是達到高達800 °C的溫度，為先進材料提供高質量的氧化和氮化工藝。高溫性能也為金剛石狀碳（DLC）和其他納米復合材料膜沈積在基板上打開了可能。APPLICED MATERIALS Enabler配備了具有開創性的能源硬件,可控制晶圓溫度並確保高性能設備所需的均勻性。使用電子轟擊（EB）或快速循環感應加熱系統加熱晶片。這兩個系統都能夠提供快速的熱循環，並減少溫度梯度造成的不穩定影響。啟用碼還支持高級過程控制軟件,以確保在制造過程中根據需要監視和調整腔室中的所有重要參數。此軟件使工程師能夠輕松監控和調整過程參數,而無需進行手動調整。AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler是一種快速可靠的反應堆，有助於制造先進的半導體材料。其集成的組件、廣闊的應用範圍和卓越的控制能力使其成為半導體制造商的全面解決方案。