二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #9093620 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler是一種最先進的高效反應器，旨在促進半導體和光電應用薄膜的沈積。該設備提供了廣泛的沈積化學和材料組合，高吞吐量和高工藝重復性。AMAT Enabler通過其可編程過程控制器（PPC）提供了極大的靈活性,使用戶能夠快速輕松地設置過程參數並實時監控反應堆運行。APPLIED MATERIALS Enabler的核心是其先進的電子回旋共振（ECR）等離子體源。這一來源在低壓下運作，以便形成高能物質，這種物質能夠以比其他來源更高的速率和更高的均勻性沈積物質。然後通過可調的噴射系統將放電輸送到生長表面，該系統設計成在整個基板上產生顆粒的均勻通量。這個單元也可以用來為困難的薄膜創建一個可調的、高能的區域，例如氮化矽或砷化​​的。為了確保過程結果一致,Enabler配備了可編程的氣體混合機和超壓保護,以及自動氣體運動控制。這有助於減少氣線交叉汙染和氣體攝入問題。此外,該工具還設計了三個加工區域。這些區域以倒V型配置排列，以優化均勻性，在整個基板上提供均勻的沈積。AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler還提供全面的流程診斷功能。它能夠維持反應堆環境和監測過程參數，如壓力、溫度和流量。這樣就可以優化沈積過程和最小化缺陷。此外，光學高溫計可用於測量橫跨基板的橫向溫度剖面，以進行工藝優化。AMAT Enabler是一種功能齊全、用戶友好的沈積資產,旨在提供高質量的薄膜沈積能力。其高效率、多功能性、綜合診斷能力，可用於存放多種材料和組合，具有可重復、高質量的結果。利用其PPC，用戶可以輕松設置工藝參數，監控反應堆運行，優化沈積工藝。這使得APPLICED MATERIALS Enabler成為創造高品質薄膜半導體和光電應用的寶貴模型。