二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 DSTTN #9204831 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2 DSTTN是下一代高溫雙單晶片化學氣相沈積（CVD）反應器。該系統是為實現最佳生產效率而構建的,其特性和功能為高級流程提供了理想的解決方案。AMAT Endura 2 DSTTN具有獨特的底部對流設計，與傳統的面向頂部的設計相比，提高了均勻性和過程容忍度。Endura 2配備了兩個可獨立編程的單晶片負載鎖，允許一個卡帶在另一個卡帶正在處理過程中卸載。這種雙端負載鎖定可提高吞吐量並實現高效的兩步過程。Endura 2還有一個「熱墻」爐，它使用嵌入腔壁的電加熱器精確傳遞沈積過程所需的熱量。Endura 2擁有先進的晶片到晶片一致性、出色的等離子體均勻性和強大的工藝範圍。該系統提供高級過程控制,確保了整個生產範圍內最高級別的可重復性和可靠性。它已被證明對矽化物和氮化鈦CVD等高溫工藝特別有效。Endura 2還能夠處理各種各樣的基材，從傳統的300 mm矽片到新的尖端玻璃和金屬基材，包括GaN-on-Diamond和CaF2-on-Diamond。獨特的雙單晶片設計允許對兩個反應堆的兩半進行單獨控制，允許針對不同基材類型的定制過程。此外，Endura 2還增加了幾項功能，使其性能更加可靠。它配備了額外的HEPA過濾氣閘，以進一步增強腔室清潔度，並具有自動校準功能，自動調整電子束以適應工藝條件。Endura 2還提供模塊化設計,允許用戶輕松升級組件。所有這些特點結合在一起，使Endura 2成為市場上最先進的高溫CVD反應堆之一。Endura 2具有用戶友好的界面和直觀的軟件,為高級沈積過程提供了終極解決方案。