二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 DSTTN #9364585 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 DSTTN
ID: 9364585
PVD Systems.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2 DSTTN是一種先進技術的大氣化學氣相沈積(APCVD)反應器,用於半導體、MEMS等行業的材料加工。其獨特的氣流動力學特性使沈積均勻,沈積速率更高,質量極佳。單晶片室設計創造了一個循環時間和經濟高效的解決方案,用於各種過程。AMAT Endura 2 DSTTN具有先進的工藝功能,如精密的配方控制、精確的氣流、多源氣體出口和負載/卸載系統。它有一個完全集成和鎖定的沈積室,允許過程敏感和高產的先進半導體器件。此外,杜瓦專有設計允許高氣壓操作和高接受率的基板。反應堆的工作原理是引入四種不同的氣體進料,每一種都有不同的化學和反應物。這些氣體隨後被加熱,其成分被尾部消散板改變。通過精確控制溫度、流量和成分,可以在基體上形成正在施工的裝置所需的確切材料。APPLICED MATERIALS ENDURA 2 DSTTN設計獨特,可減少沈積過程中不需要的反應副產物.利用內置的氣流隆升機制,實現了較快的轉化率和選擇性區域沈積,導致了比傳統系統更高的產量。此外,反應堆采用動態源控制技術,可在高達1000 °C的工藝溫度下實現精確的薄膜塗層。Endura 2 DSTTN是先進半導體器件快速發展的理想工具,產生了不可重復的、具有全過程控制的大批量生產。其精密的CVD腔室使得生產用於錯綜復雜、非常小的器件的薄膜成為可能。此外,Dewar設計允許在高達1000°C的溫度下具有靈活性和可靠的可重復性,從而確保了最佳工藝效果。
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