二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 #293827431 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2
ID: 293827431
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
PVD System, 12" Chambers: (2) DS TTN (2) STD Al (2) Degas (2) PCXT 2006 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2是應用先進等離子體工藝技術進行高精度材料沈積和幹蝕刻的專用反應器。該反應堆具有特別廣泛的潛在應用,提供全面的工藝特點和性能特點,支持制造最復雜的納米結構。AMAT Endura 2反應堆的核心是其獨特的等離子體技術,它提供了優越的工藝再現性和對預載配方的精確控制。這項技術旨在滿足最具挑戰性的蝕刻和沈積要求,例如納米結構需要精確的金屬、氧化物或有機薄膜沈積在各種不同特征尺寸的基板上。APPLIED MATERIALS Endura 2還提供了完整的過程解決方案功能。這既包括單程多步處理,也包括反應堆可選晶圓載體設備的順序處理。對於沈積型工藝,Endura 2最多具有四個氣源,而對於蝕刻工藝,系統配備了等離子體輔助蝕刻單元。它還具有先進的診斷功能,如粒子分析、反流溫度監測和集成石英晶體微平衡(QCM)。反應堆的建造是出於特殊的工程考慮。該裝置可針對生產進行優化,有幾個關鍵部件,如先進的煙氣提取、定制的基板轉移機器人界面和允許壓力範圍高達4 x 10-7 mbar的真空機。它還具有一個超大型腔室,可以同時提供多個工藝配方和配方,而不會限制腔室內部的空間。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2還提供出色的刀具性能和正常運行時間,並具有穩定、可靠的生產環境。這包括一些創新的功能,如額外的過程監測技術,集成晶圓和網頁處理功能和復雜的預調整配方。這些功能結合在一起,旨在確保最高質量的工藝性能和產量。AMAT Endura 2是那些尋求可靠、高精度反應堆以滿足其先進納米結構需求的人的理想選擇。它旨在提供前所未有的靈活性和可擴展性,同時提供無與倫比的可重復性和對預加載配方的精確控制。這個反應堆是任何制造實驗室或研究實驗室的必備工具,希望在納米技術領域取得優勢。
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