二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 #9220549 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2代表了先進反應堆技術的最新創新，是多種材料和薄膜應用的理想解決方案。這款多區域、超高性能的PECVD設備具有五個工藝室,可為薄至幾埃、厚達25微米的薄膜提供集成解決方案。AMAT Endura 2的高性能沈積室融合了一整套先進的特點和高品質的分布。這個多區腔室配備了獨特的流動分布技術，有助於保持沈積在整個基板上的均勻。該室還包括一個用於精確覆蓋的綜合均勻控制系統。這項技術能夠維持高通量的生產過程,其工藝速率高達1,100 m/min。APPLICED MATERIALS Endura 2設計了一個最先進的等離子體源，這使得令人驚嘆的薄膜沈積速率。其先進的等離子體源和磁場技術提供了對基板溫度的精確控制，以實現更好的均勻性和優異的工藝穩定性。PECVD腔室還配備了實時顆粒控制和工藝後清洗技術，確保了廣泛應用的最高質量。Endura 2還提供了一個集成的等離子體蝕刻室和一個CD計量室，允許這兩個功能相互配合工作，以實現最大效率和效率。蝕刻室采用先進的雙室技術，可加快循環時間，提高工藝精度。CD測量室為評估薄膜性能和厚度提供了一個全面的解決方案。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2是許多高級工藝的理想選擇。該綜合單元采用自動基板處理程序，提供均勻的晶圓分布，提高安全性和效率。該機具有用戶友好的觸摸屏界面,可輕松控制過程,並便於快速優化。AMAT Endura 2還支持第三方自動化,以便更輕松地集成到現有生產系統中。該工具對工藝技術的先進集成使其成為半導體行業困難應用的理想選擇。