二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 #9298227 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2是一種單晶圓垂直擴散爐（VDF）設備，用於半導體晶圓的高溫擴散和氧化。AMAT Endura 2融合了技術、安全和生產力方面的創新。它有一個直徑9英寸、無感應的鏈式輸送機，設計用來容納300毫米晶圓。它有兩個前門，分別提供獨立壓力和溫度控制的獨立大氣。APPLIED MATERIALS Endura 2旨在提供高質量的工藝結果。它有一個集成的自動氣體系統，對氮氣/蒸汽或氫氣/蒸汽混合物進行自動控制，以進行原位氧化。Endura 2還包括功能強大的嵌入式控制器和觸摸屏主機。這種組合使流程工程師能夠快速配置並有效地同時運行多個配方。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2是為安全和可靠性而設計的。它有幾個安全功能，例如先進的操作員門互鎖，以及一個故障安全門傳感器，在門打開的情況下停止裝置。該室配有冷藏冷卻劑機，用於快速冷卻和最小的熱沖擊。AMAT Endura 2具有很高的工作效率,由於其易於訪問的部件艙口,因此可以快速切換各項任務。它具有RapidStart技術,可縮短配方設置時間並加快周期啟動。它還具有DeepTemperature Control,可幫助確保可重復的過程結果。這項技術使工藝工程師能夠精確控制底物區域內的溫度和溫度梯度,而傳統的加熱方法可能難以達到這些溫度和溫度梯度。APPLIED MATERIALS Endura 2旨在減少汙染。它具有先進的工藝波紋管和等離子體清潔能力，有助於保持高水平的清潔。Endura 2采用標準的預制填料和排水口以及二級端口，以幫助減少來自外部來源的汙染。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2是用於半導體晶片高溫擴散和氧化的先進可靠的VDF工具。它是一種高效、安全的資產,使工程師能夠快速配置並有效地同時運行多個配方。AMAT Endura 2還設計了減少汙染的功能。