二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 300mm Chamber #9125373 待售

AMAT （APPLICED MATERIALS） Endura 300 mm Chamber是一種生產級化學氣相沈積晶片反應器，使薄膜能夠靈活、精確地沈積到基板晶片和其他基板上。這種創新的化學氣相沈積設備設計用於半導體、LED、微機電系統和光電應用。該系統使材料能夠在低壓下沈積用於晶體薄膜，在受控溫度下沈積以實現最佳蒸氣吸收，並具有精確的通量控制。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 300 mm Chamber包括一個具有高精度真空密封的垂直反應堆室、一個自動化的精密氣體噴射單元和一個材料進料歧管。這樣可以在整個晶片基板上均勻沈積薄膜。自動噴氣機通過精確控制和調節氣體進料流量，確保了準確、可重復的沈積。進料歧管反過來允許在整個晶片表面積上精確且均勻的氣體分布，以防止薄膜特性的變化。此外，該反應堆還配備了基板加熱器和爐二鉻加熱元件的獨立溫度控制裝置，可實現精確的溫度控制和最佳的蒸氣吸收。該腔室還具有集成的過程控制負載鎖定功能，可實現更快的沈積時間和更大的生產吞吐量。此外，它的自對準磁懸浮軸承允許最小轉移跳動，允許精確和均勻的薄膜沈積。AMAT Endura 300 mm腔室的整體設計重點是高效沈積優質薄膜。這個先進的腔室既可以處理復雜的圖樣，也可以處理基本的單層基板。它比其他傳統沈積系統更快、更可靠、更具成本效益，使其成為高通量生產面膜和利基材料沈積的理想選擇。