二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #293830683 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP是一種等離子體蝕刻反應器,用於各種先進的半導體應用,特別是殘留物的蝕刻。AMAT Endura 5500 HP采用多面腔室設計,可促進晶圓的高效處理,並提供卓越的隔熱性能。此模型可實現精確、可重復的過程,具有出色的一致性。此外,APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP還配備了先進的等離子體源和新穎的外部射頻匹配設備,使用戶能夠根據其特定的處理需求定制等離子體形狀和功率。Endura 5500 HP可以遠程、手動或全自動模式運行。在手動模式下,用戶可以利用直觀熟悉的用戶界面來控制反應堆參數,並根據實時性能改變處理時間。遠程模式允許用戶遠程監視和控制反應堆,提供遠程調諧腔室的靈活性。最後,用戶還可以利用全自動操作模式,該模式允許對多達32個腔室設置進行編程,從而在所需腔室參數範圍內實現高可重復性。AMAT/APPLICED MATERIALS Endura 5500 HP采用快速流動氣體輸送系統結合主動減氣裝置,實現低溫、低壓、高均勻性等行業領先組合。這種設計有廣泛的應用,從薄膜沈積到深層蝕刻。此外,AMAT Endura 5500 HP的創新設計使其能夠用於其他各種半導體處理任務。APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP的腔室配備了一個工藝腔室視口,允許用戶實時監控處理。使用此視區,用戶可以觀察蝕刻模式,而無需打開腔室。5500 HP還配備了一系列診斷和監控端口,可以深入審查底層處理參數和腔室性能。此功能使用戶能夠更深入地了解底層化學以及被蝕刻底物的質量。Endura 5500 HP等離子體蝕刻反應器是一種最先進的機器,也是蝕刻殘留物和其他半導體加工需求最可靠的工具之一。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP憑借其強大的設計和各種操作模式,為用戶開發先進可靠的蝕刻工藝提供了理想的平臺。
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