二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #9093774 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor是最新一代AMAT旗艦系列半導體蝕刻工具。AMAT Endura 5500 HP反應堆是一種高功率、多室等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應堆，設計用於深亞微米IC處理。五室工具是專門設計為高度通用和高效處理多個設備結構與一個過程模塊。APPLICED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor提供了前所未有的處理高級超多級金屬化、通過互連接觸、本地互連和高密度互連的能力。五室工具配備了兩區/垂直交錯氣體輸送系統，旨在以各種速率精確地將多種氣體輸送到不同的處理室中。液體輸送系統也可用於額外的工藝改進。Endura 5500 HP Reactor裝有七個獨立致動的PE-CVD工藝室，每個室都有獨立的溫度、壓力和流量控制。數字控制系統允許精確定制和控制過程參數。該工具的大功率離子源能夠處理極薄的柵極氧化物，並能夠極好地控制微小模式的高通量。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor融合了先進的過程控制和監控功能，如在線離子源測量、端點配方確認和數據集成圖形。這些工藝能力以及濕式清潔能力使5500 HP反應堆成為高效處理復雜結構的理想工具。AMAT Endura 5500 HP Reactor是一款功能強大、全面的工具，旨在滿足先進IC制造的嚴格需求。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 HP Reactor具有先進的工藝能力、高通量和獨立的腔室致動能力,是生產過程要求復雜的亞微米結構的最佳選擇。