二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #9239684 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP是為高通量、精密薄膜沈積而設計的最先進的沈積反應器。AMAT Endura 5500 HP能夠處理多種材料,設計用於處理復雜薄膜的沈積和需要精確溫度和氣體控制的薄膜沈積等具有挑戰性的過程。該反應堆非常適合各種材料，包括：半導體、電介質、矽化物、氮化物、光伏器件的薄膜、光學系統、照明應用和生物醫學植入物。APPLICED MATERIALS Endura 5500 HP配備RF和DC電容耦合源和多區分布式磁感器。其獨特的敏感器設計降低了冷區加熱電位，使整個基板的受限溫度不均勻。反應堆電子發射面積大，允許在單晶片和間歇過程中穩定運行。此外,獲得專利的雙直接外部視窗還可以更好地控制和監控過程。Endura 5500 HP采用直觀、自動化的控制和監控系統,能夠快速、精確地控制沈積參數。EcoPulse和Vision技術提供了簡化的用戶體驗和自動化,從而縮短了流程啟動的時間。同時，先進的溫度和氣流控制確保了精確的沈積控制。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP具有很高的可靠性、高效率,並利用增強的射頻匹配技術和獲得專利的腔體技術來實現最高的精度和均勻性。其高可靠性使客戶能夠補充現有系統，提高生產能力，而不會培養麻煩的學習曲線。選擇AMAT Endura 5500 HP的客戶可以從高產率和卓越的流程可重復性中受益,而且停機時間最短。此外,APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP旨在最大限度地減少能源和材料消耗。其主動室冷卻器利用亥姆霍茲原理降低載氣壓力，而低流量設計則最大限度地減少了攜帶工藝氣體所需的能量。該系統還采用了濕式清潔部件和車載計量技術，既節省了成本又節省了浪費。Endura 5500 HP是需要卓越工藝控制和信任的大批量工藝和制造商的理想選擇。