二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #9373206 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor是一種緊湊、高性能的CVD處理設備，適用於各種先進的材料處理應用。它具有一個獲得專利的2區高真空加熱器裝置和一個6 「x 6」（152 x 152毫米）的磁感器，可以完全獨立地控制源和基板溫度。靈活、集成的配置為各種高溫應用提供了高吞吐量。AMAT Endura 5500 HP獲得專利的雙區域加熱器實現了源和基板溫度均勻性的同步控制,從而實現了快速、可重復的工藝開發。該設計確保整個基板區域的溫度和壓力分布均勻，提高了工藝的均勻性、可靠性和產量。APPLICED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor的主室具有水冷屏蔽功能，有助於促進過程的均勻性和改進過程控制。大容量循環系統在腔室內提供均勻的溫度分布，保證了過程的可重復性。此外,還可以旋轉磁感器,提供額外的靈活性以確保均勻處理。Endura 5500 HP Reactor還具有廣泛的工藝，包括CVD、濺射、蝕刻和擴散。它針對高溫過程和組件進行了優化,在不到一分鐘的時間內達到2000 °C的溫度。配置了一系列集成配件，可以對設備進行優化，以滿足各種應用的特定處理需求。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor的易用性使得它非常適合與LED、MEMS和微電子相關的各種應用，僅舉幾例。直觀的控制軟件提供高級流程開發功能和配方創建程序,以方便工作流。模塊化設計和用戶友好界面允許快速、輕松的工藝參數設置。總體而言，AMAT Endura 5500 HP Reactor適合各種先進的應用和工藝，需要緊湊、高性能和可重復的CVD加工機。集成的設計、用戶友好的界面和優化的過程提供了增強的過程統一性和產量,使其成為高精度任務的理想選擇。