二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP #9373207 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP是一種先進的化學氣相沈積（CVD）反應器，旨在方便各種材料的沈積，例如矽和介電膜，以及多種其他材料。AMAT Endura 5500 VHP反應堆使用工藝室，利用AMAT和CVD「摻雜」氣體的組合，將材料的薄膜層沈積到基板上。在這一過程之後，在薄膜沈積之前快速退火，從而提高了沈積薄膜層的質量。反應堆由幾個主要部件組成：主室、上遊室、基板級和氣體噴射設備。主室是一個超高真空（UHV）系統，包含基板級，在沈積過程中保證高純度。上遊腔室包含各種氣體管線和組件來支撐過程，如噴射器和氣體管線。反應堆配有高精度控制，允許使用者調節基板的流動，對氣體進行摻雜，確保均勻、高質量的沈積。基板溫度也使用石英傳感器精確控制，保持在250°至400°C的可調範圍內。還保持了可調節的反應室壓力，以獲得最佳的工藝穩定性。APPLICED MATERIALS Endura 5500 VHP反應堆配有安全功能，以確保附近所有在場人員的安全。這包括機械門互鎖、壓力傳感器和逃生按鈕，以確保設備的所有部分正常工作。應急氣體隔離機和滅火工具也提供了額外的安全性。反應堆的運行效率極高，使用戶能夠實現較高的沈積速率、卓越的精度和可重復性，以及優異的材料質量。高吞吐量和全面自動化功能可最大程度地減少停機時間,從而提高產量並縮短周期時間。此外，反應堆可靠、耐用且易於維護。Endura 5500 VHP是一系列材料和介電膜沈積的理想選擇。其先進的特性，包括高精度控制、安全特性、效率和耐用性，使其成為CVD行業中可靠、高效的選擇。