二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #186220 待售

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ID: 186220
晶圓大小: 8"
TxZ System, 8" Narrow Body Load Locks CH A Cooldown CH B PT CH C Preclean CH D Preclean CH E/F Orienter Degas CH 1 IMP TI CH 2 TxZ CH 3 TxZ CH 4 IMP TI.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500反應堆是一種最先進的腔室設備,設計用於半導體器件制造的各個方面,從初始沈積和蝕刻到清潔和修理。AKT Endura 5500是現有最先進的沈積和蝕刻設備之一,為關鍵的制造過程提供卓越的性能、精度和控制。該反應堆具有革命性的無空隙封閉式腔室,可絕對控制過程,在不影響生產率的情況下實現可預測的薄膜和器件質量。AMAT ENDURA 5500采用了集成的預對準器,這提高了反應堆的速度、精度和可靠性,同時最大限度地減少了安裝時間。預對齊器還允許精確的參數設置,因此用戶可以根據其特定的工藝控制要求調整工藝室。此外,APPLIED MATERIALS ENDURA 5500包括許多高級過程控制系統,例如實時過程控制監視器和一套分析工具。實時流程控制監視器允許用戶實時監控自己房間的性能,提供對流程的完整洞察。此外,該系統允許自動調整過程參數,以補償腔室環境的變化,允許用戶實時精確控制過程。這套分析工具結合了室映射、層映射和配方分析等特征,使用戶能夠快速診斷和調整影響過程的變量,如沈積、缺陷和均勻性。反應堆體積小巧,基板加載裝置柔性,進一步使其成為晶圓制造的理想選擇。自動化基板裝載機可提高吞吐量,並允許同時裝卸多個基板,從而實現更快的吞吐量和更一致的工藝結果。最後,AMAT Endura 5500是一種革命性的沈積和蝕刻反應堆,提供了前所未有的工藝控制水平、精度和可靠性。從獨特的無空室到復雜的工藝控制系統,AKT ENDURA 5500為工程師提供了一整套復雜的硬件、軟件和自動化解決方案,以實現強大、可重復的設備制造。
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