二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293742970 待售

ID: 293742970
晶圓大小: 6"
優質的: 1996
PVD System, 6" 1996 vintage.
AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500反應堆是為研發應用而設計的高性能、高容量系統。5500是為快速發展和制造狹窄的吞吐量和小型特征處理而設計的。AKT Endura 5500能夠以比其他可比來源更高的均勻性和精確度增長一系列工藝層。它具有一個大於平均水平的源腔,允許較高的源溫度和較低的沈積速率。這樣可以更好地控制層的均勻性,從而產生具有更高過程重復性和均勻性的過程。AMAT ENDURA 5500配備了大範圍的活性氣體噴射器,允許在工藝開發和生產過程中對氣流進行精確控制。這包括電子回旋共振(ECR)等離子體源,在生成用於樣品處理的均勻電子源方面效率很高。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500反應堆能夠產生廣泛的工藝層,包括介電、金屬、陶瓷和光敏材料。它旨在提供出色的鉆頭配準和完整的電子設備制造。APPLIED MATERIALS Endura 5500使用高通量晶圓處理系統,穩健可靠。集成的晶圓排序工具能夠快速分類和處理成品晶圓。AKT ENDURA 5500已被證明是一系列工藝應用的優秀反應堆。能夠提供卓越的工藝動力學、可重復性和均勻性,廣泛應用於光刻工藝的研發和生產。AMAT Endura 5500專為最大正常運行時間而設計,經證明在生產各種應用程序方面可靠、耐用且高效。
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