二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293748483 待售
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ID: 293748483
晶圓大小: 6"
優質的: 1993
Physical Vapor Deposition (PVD) system, 6"
(2) Al PVD Chambers
Ti PVD Chamber
Narrow body load lock
HP Robot
1993 vintage.
AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是用於制造半導體元件和系統的關鍵工具。它主要用於創建符合各種行業標準的高耐用性、低功耗部件和設備。與市場上許多其他工具相比,AKT Endura 5500提供了更高的性能和可靠性,使其成為許多晶圓制造工藝的理想選擇。AMAT ENDURA 5500是一個單室、水平反應堆,可以處理多種晶圓尺寸。它設計用於快速、高精度的等離子體蝕刻和沈積過程。設備在腔室底部使用氣體噴嘴,設計用於提高蝕刻速度和效率。AMAT Endura 5500的炮塔裝有組合載荷鎖定和氣體註入端口,與手動操作相比,可以更快、低成本的裝卸。該系統有幾種不同的操作模式,包括「線圈到晶圓」模式,這種模式能夠實現可重復的過程周期和提高吞吐量。APPLIED MATERIALS Endura 5500配備了為真空完整性而設計的高級石英室和蓋子。該腔室可實現高精度的沈積和蝕刻過程,並具有較低的顆粒水平,同時覆蓋廣泛的壓力和溫度範圍。該單元還采用了強大的可編程控制器,包括自動和手動控制模式來處理晶圓制造過程的所有部分。ENDURA 5500還配備了先進的晶圓清洗機,旨在進一步提高產量。它采用一種特殊的動力驅動的刷子,高速旋轉,有效地去除晶圓表面的任何顆粒。該工具還包括一個快速響應的實時粒子監控器,以確保安全的晶圓清洗和燃燒過程控制。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500是最先進半導體器件亞微米精密製造的極可靠工具。它在高通量、單晶片工藝中提供高質量的性能,使其成為晶片制造操作的經濟選擇。該資產采用高耐力、低功耗的組件構建,可以保證多年的精確、準確運行。
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