二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293752145 待售
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單擊可縮放
ID: 293752145
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
PVD System, 8"
Signal cables: 25 M
(1) NESLAB
(2) Cryo compressors 9600
(2) Frequency converters
(2) Gen racks
Turbo Controller
RF and DC generator for Ch1/2/3/4/C/D
System configuration:
SNNF
HP Robot
Ch 1: A101 TiN
Ch 2: STD Al
Ch 3:STD Al
Ch 4: A101 TiN
Ch C: PCII
Ch D: PCII
Chambers:
LL: Widebody universal rotate
CH E: Orient/Degas
CH F: Orient/Degas
CH A: Passthrough with clear lid
CH B: Cooldown with clear lid
CH C: PCII / Comdel 13.56Mhz and RFPP 400kHz
CH D: PCII / Comdel 13.56Mhz and RFPP 400kHz
CH 1: Widebody G12 TiN – No shutter / AE MDX-L 12M-650
CH 2: Standard Body 12.9” Al / (2) AE MDX-L 12M
CH 3: Standard Body 12.9” Al / (2) AE MDX-L 12M
CH 4: Wideobdy G12 TiN – AE MDX-L 12M-650
System controller SBC Board missing
2000 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是為先進半導體加工而設計的最先進的反應堆。該反應器是通過化學氣相沈積(CVD)制造先進材料的廣泛應用平臺。AKT Endura 5500的設計旨在為廣泛的工藝應用提供最佳的溫度、壓力和氣體控制。5500還提供了較高的吞吐量和均勻的沈積率,從而實現了較高的產量和較低的成本。該設備具有強大的8晶片批量盒,用於快速、一致的處理。AMAT ENDURA 5500構建了強大的硬件和軟件平臺,可提供最大的靈活性和可重復性。硬件包括AMAT Endura 5500 PC-Controlled Process Computer、Process Control Center、Automated Gassing System。Endura 5500還提供了廣泛的功能,以確保高質量的處理性能。該單元包括內部石英視口和低溫沈積能力。內部視口允許用戶實時監控過程的進展,而低溫沈積則允許各種沈積材料和溫度。該機還集成了先進的安全功能,以確保安全運行。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500旨在提供一系列低溫過程,包括金屬有機化學氣相沈積(MOCVD)、低壓化學氣相沈積(LPCVD)、高壓化學氣相沈積(HPCVD)或增強型化學氣相沈積(HPCCVD D)該工具還提供多種溫度控制模式,包括變溫沈積(VTD)和恒溫區(CTZ)。最後,ENDURA 5500是一種高度可靠和耐用的反應堆資產。此模型提供堅固耐用的結構,具有抗振和抗震性能,有助於最大限度地提高設備的正常運行時間並減少工藝變化。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500還擁有易於維護的用戶友好界面。所有這些特性使APPLIED MATERIALS Endura 5500成為先進的納米加工、芯片制造和密度縮放應用的理想解決方案。
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