二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293763421 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一種為半導體制造而設計的反應性離子蝕刻（RIE）設備。該系統利用各種工藝氣體和射頻功率將特征蝕刻到基板中。AKT Endura 5500專為多種蝕刻化學和技術而設計，包括深層電介質、淺層溝槽隔離（STI）和敵對材料的器件蝕刻。它具有304個不銹鋼真空室，可加工8英寸晶片，表面積可達30平方厘米。AMAT ENDURA 5500包括先進的安全功能，如自動關閉閥、腔室清洗、泵和傳感器，以確保人員和設備的安全操作。它提供了一個方便的腔室訪問，使用戶能夠在不打開真空室的情況下更換電極和加工夾具。這在工藝成本效益和時間效率方面是有利的。該機組配備了一個地面隔離的高功率射頻電源，提供高達13.56 MHz 2000W的射頻電源，用於快速精確的模式蝕刻。它還具有高精度天線機和可根據特定工藝條件量身定制的快速移動掃描線圈。APPLICED MATERIALS Endura 5500采用量身定制的算法,在寬過程窗口內自動優化蝕刻過程參數,以獲得高質量的蝕刻輪廓。RIE工具設計有多種工藝氣體噴射器，具有最高的靈活性和優化的工藝能力，氣體混合組合方法，以及精確的壓力控制資產，以確保最佳工藝和精確的蝕刻結果。集成的快速流程優化模塊允許快速、簡單地設置新的蝕刻流程。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500有變溫控制的腔室，以及自動控制的基板預熱。它包括一個軟件界面，方便訪問流程配方、數據記錄和經驗參數優化。總體而言,ENDURA 5500是一種前沿、經濟高效且高度靈活的反應性離子蝕刻模型,可為廣泛的應用提供卓越的蝕刻效果。該設備配備了多種先進的特性和功能,使其成為當今半導體制造行業可靠而高效的工具。