二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293768842 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500反應堆是一種專門的工具，旨在加速和便利關鍵的半導體加工任務，如電化學沈積和蝕刻，生產復雜的半導體器件。這種超高真空反應器能夠處理各種材料，包括：金屬化層、電介質膜、絕緣膜、各向異性導電膜和光致抗蝕層。這種廣泛的處理能力，加上其高性能的設計，使得AKT Endura 5500成為各種不同任務的可靠處理站。AMAT ENDURA 5500是一個支持多過程能力的特高壓反應堆。該系統采用行業標準的機電一體化體系結構,需要最小的維護和最大的可靠性。其高功率、多源等離子體源能夠為各種蝕刻過程提供低頻（RF）功率、脈沖RF功率和低溫直流偏置。此外，多源功能也使系統成為嚴格的過程控制和蝕刻氣體使用的理想選擇。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500利用四門熱源及其雙向渦輪分子泵和間接加熱實現低壓高溫等離子體處理。該系統的溫度控制平臺能夠將溫度控制在1攝氏度以內，使其成為低k聚合物和介電沈積等工藝的理想選擇。此外，這種熱源能夠控制各種基板上的溫度。此外,APPLIED MATERIALS Endura 5500包括高精度手勢識別和機器人運動控制技術,可實現精確、自動化的晶圓處理和定位。這項尖端技術加上可編程的配方腳本編寫功能,使操作員能夠快速創建高度自動化和可重復的配方,從而實現快速循環時間和降低操作成本。AMAT Endura 5500旨在實現與工藝分析、數據記錄、計量和材料跟蹤系統的無縫集成,使其成為小型和大型生產環境的理想選擇。其直觀的操作員界面確保了用戶友好的操作,同時實時分析和遠程診斷功能大大減少了停機時間。Endura 5500是需要多功能、高精度處理工具的操作的理想選擇,該工具能夠滿足廣泛的處理要求,同時還能輕松處理復雜的任務。其高性能、可靠性和自動化功能為客戶提供了滿足其生產要求的保證,同時也顯著降低了其運營成本。