二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293809674 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500反應堆是一種緊湊、經濟高效、全面、自動化的化學氣相沈積（CVD）、物理氣相沈積（PVD）和化學機械拋光（CMP）處理設備。AKT Endura 5500的創新設計讓工藝工程師降低成本，提高吞吐量。AMAT ENDURA 5500的核心是高性能、高通量的反應堆設計。反應堆設計有一個可容納多達10個基板的大腔室，以及一個提供靈活性的集成高通量工藝技術，為每個特定應用修改和優化工藝參數。綜合工藝技術還包括動態氣流調節，確保整個晶圓表面的最佳工藝控制和均勻性。AKT ENDURA 5500提供了一個復雜且功能豐富的自動化系統,使基板的處理和監控變得輕松高效。該單元設計為在批量和連續模式下運行，為流程工程師提供定制其處理協議的靈活性。此外,集成控制系統還提供實時自適應學習控制功能,使流程工程師能夠檢測和消除流程變化。ENDURA 5500由於其低壓反應室，有能力以高度精度和均勻性進行CVD、PVD和CMP工藝。這使工藝工程師能夠在目標基板上創建薄而均勻的材料層,這對於優化設備性能至關重要。此外，該機的雙極性目標的集成，使可變比率和增強脈沖頻率的CVD和PVD過程的改進控制。AMAT Endura 5500還配備了先進的安全功能，如惰性氣體監測工具和防止過程汙染和限制底物暴露於極端溫度的低壓清洗。其他功能如自動晶圓映射、閉環過程監控和康寧LP4玻璃板重新校準確保了過程的最高質量。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500為加工工程師提供了一種高效和高性能的資產,專門設計用於以低成本、高吞吐量和出色的準確性和統一性加工基板。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500具有強大的高通量反應堆設計、精密的自動化模型和先進的安全特性,是需要高精度薄膜沈積和CMP工藝的工藝應用的理想選擇。