二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293814954 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是一種具有獨特設計的高性能半導體反應堆。該反應器能夠對納米結構材料進行等離子體蝕刻、沈積和致密處理。AKT Endura 5500是一個蝕刻先多步沈積系統，利用了一個最佳設計的射頻等離子體蝕刻室，接著是多個順序沈積室。這種設計最大限度地提高了等離子體蝕刻和沈積吞吐量，從而達到了更高的生產率。AMAT ENDURA 5500先進的自動化氣型選擇和工藝優化自動腔室調試縮短了周期時間，提高了工藝可靠性，產生了極好的產量和最優質的設備。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500還配備了金屬裝甲等組件，內置快速反應溫度控制系統，等離子體密度多元控制和獨特的通道匹配拋物面形狀陰極設計。這些成分對於等離子體蝕刻、清洗和沈積過程至關重要。為確保工藝參數的精確控制和達到最佳性能，ENDURA 5500配備了精確的濕度和溫度控制。這確保了該過程保持可重復和可預測的狀態。AKT ENDURA 5500專有的快速響應溫度控制系統可根據精密蝕刻和沈積過程的要求實現一致的晶圓溫度控制。APPLICED MATERIALS Endura 5500還提供了一個精確映射的電饋線，它提供了整個單個晶圓的精確沈積溫度。Process Point Control功能使操作員能夠確保通過晶圓進行一致的測量和處理性能。此外,Endura 5500最多可支持8層多層原位形成的金屬結構,從而在一次運行中實現多層結構。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500為半導體加工提供了高性能、經濟高效的解決方案。該技術可實現設備內更高級的集成、更高的精度和更好的設備產量。它非常適合各種材料和工藝應用，用於集成設備制造和半導體生產。AMAT Endura 5500的功能和性能使其成為各種應用的絕佳選擇。