二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293819415 待售
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ID: 293819415
晶圓大小: 8"
優質的: 2019
PVD System, 8"
(2) Chambers
(2) Monitors
Wafers run: 50000
2019 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是一種綜合性的、用於高精度先進材料加工的下一代反應堆。利用最先進的真空技術，這種精密的設備能夠以嚴密的精度處理稀有或難以制造的材料。反應堆設計用於控制和監測生產參數和室內存在的環境條件。支持不同類型的工藝反應堆，包括大氣、等離子體和超高真空能力。顆粒生產、基板沈積和蝕刻過程所需的所有組件都被納入設計。該系統還提供一系列工藝室配置、溫度範圍和腔室大小。這些功能使其非常適合滿足各種苛刻的應用需求。AKT Endura 5500具有先進的基板處理工具，允許以前所未有的精度和可重復性生產材料。該單元裝有專利的「高密度基板支架」，提供精密的壓力控制和基板與反應堆腔室的均勻接觸。其穩定的等離子體源和優化的電子回旋共振（ECR）技術使基於等離子體的沈積速率和質量得到提高。該單元配備了自動熱管理能力，允許實時監測所有熱部件，以確保過程效率。預編程算法允許客戶快速準確地撥入溫度、沈積率、壓力和功率參數。可以控制溫度循環過程,以實現產品的理想組成。此外，AMAT ENDURA 5500配備了精密的安全機器、監控氣體、聯鎖、報警和緊急接觸器。APPLIED MATERIALS Endura 5500對於那些尋求高精度高級材料工藝的人來說是一個非常寶貴的工具。其強大的技術和集成的安全特性使其非常適合加工稀有和/或難以制造的材料。
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