二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293829116 待售
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單擊可縮放
ID: 293829116
晶圓大小: 8"
優質的: 1998
Sputtering system, 8"
(2) PVD Endura type remote generator rack
(2) TxZ Gas cabinet
Buffer HP Robot, Transfer robot VHP Robot
AMAT 0 Heat exchanger
AMAT NESLAB III
AC Rack
Umbilical cable length: 25 feet
Chambers:
LLA Load lock A Narrow body with auto tilt
LLB Load lock B Narrow body with auto tilt
E / F Orient / Degas orienter / Standard degas
Clear lid wafer lifter
Cool down clear lid wafer lifter
Buffer HP Robot with metal blade
Transfer VHP Robot with metal blade
IMP Chamber:
Wide body chamber
IMP Source with magnet
Motorized lift assembly
UHV Gate valve (3-Position)
A101 Heater
Shutter assembly
HFV- 8000
MDX - L12 M-650 DC Power supply
HP T x Z Chamber:
Heater lift assembly
Gate valve
HP TxZ Heater
PDX - 900 - 2V
PC II Resonator:
Chamber body
Wafer lift
RF Match
RF CPS1001S
RF LF - 10 A
Missing parts:
9600 System Cryogenics compressor missing
(3) OB-8F Cryogenics pump (3PH) Missing (Buffer, X-fer, IMP)
(4) 361C Turbo pump missing (PC II 2ea, TxZ 2ea)
(4) Resistor on TxZ Lid missing
Operating system: VMS
1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一種用於先進半導體應用的高性能轉移和光刻反應堆。AKT Endura 5500設備實現了快速、準確的模式傳遞，並支持多種標準工藝材料，包括摻雜多晶矽、單層和雙層多晶矽閘棧、硬面膜。該系統具有大型高精度腔室、快速冷卻和多級光刻工藝,可確保在整個晶片表面上精確復制圖樣。AMAT ENDURA 5500還提供了高端工藝能力，如深層反應性離子蝕刻（DRIE）和脈沖激光沈積（PLD），使當今的超導器件得以處理。AKT ENDURA 5500可以容納多種底物，包括矽、砷化的、絕緣體上的矽和玻璃。APPLICED MATERIALS Endura 5500單元采用雙伺服控制級機構,在多種溫度範圍內操作具有極好的精度和可重復性。它采用三區高分辨率幹涉顯微鏡（IRM）機監控整個過程。該工具包括功能強大的處理器,可實時讀出各種光刻應用的關鍵尺寸。此外，AMAT Endura 5500支持低溫工藝的熱退火，以改善膜和結構的附著力。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500還包括一個獨特的熱載/冷卸特性，顯著減少暴露於空氣中的汙染物。這顯著提高了設備質量,降低了設備生產的總體成本。此外，ENDURA 5500還以真空室為特色，具有高品質、磁懸浮、電機驅動的快門，允許反應室精確快門進行可重復操作。高端光刻能力、重復性和精度的結合，使得AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500成為先進半導體應用的理想解決方案。它為客戶提供了他們在商業上最關鍵的流程所需的性能和可靠性。
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