二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9064236 待售
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ID: 9064236
System, 8"
Process CH. 3: AL, CH. D: PC2(Oxide Etch )
Software version Unknown
Wafer Shape SNNF
Wafer Cassette 8”PEEK Miraial
SMIF Interface None
Heat exchanger: none
Chamber A COOL(STANDARD COOLDOWN CHAMBER)
Chamber B COOL(STANDARD COOLDOWN CHAMBER)
Chamber D PC2(Cryo Type)
Chamber E Orienter(ORIENTER WITH STANDARD DEGAS)
Chamber F Orienter(ORIENTER WITH STANDARD DEGAS)
Chamber 3 AL(Wide Body)
Transfer:
Load LockA/B Type Narrow automated tilt out
Transfer Robot Type HP+
Transfer Robot Blade Metal
Buffer Robot Type HP+
Buffer Robot Blade Metal
Buffer Cryo Type BROOKS 8116071G001
Transfer Cryo Type BROOKS 8116071G001
Chamber D:
Process Type Oxide Etch
Chamber Body Cryo Type(AMJ：0020-23249)
Pedestal Parts No. AMJ ：0010-20754
Lift Assy Parts No. AMJ ：0010-20753
Power Supply (kw) AMJ ：0190-70099
Gas Pallet Configuration:
N2 MFC size 20sccm(SEC-4400MC)
N2 MFC size 300sccm(SEC-4400MC)
Chamber 3:
Process Type AL
Chamber Body Wide Body(AMJ：0040-20195)
Source Type Standard
Target Type Unknown
Magnet Type AMJ ：0010-20225(Mechanical Fail)
Magnet Shim Size 0.5MM
Lift Assy Parts No. 0010-70271
Heater Parts No. 0010-12516
Power Supply (kw) MDX-L12M-650(AMJ ：0190-21110)
Power Supply (kw) MDX-L12M-650(AMJ ：0190-21110)
Cryo Gate Valve Type 3Positon
Cryo Pump Type Enhanced(8116071G001)
Gas Pallet Configuration:
N2 MFC size 20sccm(SEC-4400MC)
N2 MFC size 100sccm(SEC-4400MC)
Cryo compressors:
(1) BROOOKS 8510, gas: He (99.999%pure)
(1) BROOOKS 8500, P/N: 8031348G001, gas: He (99.999%pure)
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一種先進的頂級垂直熱反應器，能夠對多種材料進行高溫退火、氧化和氮化處理，最常用於半導體和MEMS行業。該反應堆具有獨特的雙頭設計，可以同時處理兩個基板，並結合內置真空泵。AKT Endura 5500配備了最先進的加熱元件和堅固的數字溫度控制設備,可確保精確、均勻的熱處理。該控制系統還允許在各種溫度條件下進行平滑的坡度和臺階和駐留的加熱剖面,並允許整合額外的加熱元件以提高溫度。AMAT ENDURA 5500還具有易於使用的直觀圖形用戶界面、確保安全協議的內置互鎖單元以及每個特定應用程序的各種可配置參數。APPLICED MATERIALS Endura 5500的設計采用了耐用的不銹鋼結構，易於更換部件，並有多個氣體入口用於清洗和反應氣體的引入。反應堆還配備了90英寸的觀景窗和可選的觀景攝像頭，以及機械升降機和舉重/皮帶機，方便裝卸。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500能夠加工直徑不超過6英寸的晶片和基板，能夠加工不同厚度的基板，包括標準基板和纖薄基板，最高工藝溫度為1100 °C。這一卓越的反應堆還提供了出色的熱均勻性、可重復性和基板配置的靈活性，使得AKT ENDURA 5500成為各種高溫退火、氧化和氮化過程的理想選擇。
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