二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9096874 待售

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圖為 已使用的 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 待售
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已售出
反應爐
製造商
AMAT / APPLIED MATERIALS
模型
Endura 5500
ID: 9096874
晶圓大小: 8"
System, 8" Process: Al/Ti and TiN (4) Chambers: (2) Process chambers Signal tower: 3-color Loadlock type: Nallow Auto Buffer robot: HP Buffer robot blade: std Transfer robot: HP+ Transfer robot: std VHP Robot Chamber A: PASS Chamber B: Cool Down Chamber E: Orienter Degas Chamber F: Orienter Degas Chamber 1: Al process Body: std Source lid: 8" STD Magnet: 0010-20225 Heater: Heater Shutter: n/a Cryo pump Gate valve: 2-position RF/DC Gen1: MDX-L12M RF/DC Gen2: MDX-L12 Gas N2: 100 SEC 4400 MC Gas N2: 20 SEC 4400 M Chamber 2: TI process Body: Wide Source lid: 8" STD Magnet: 0010-20223 Heater: 101% Shutter: Yes Cryo pump Gate valve: 2-position RF/DC Gen1: MDX-L12M Gas N2: 200 SEC 4400 M Gas N2: 200 SEC 4400 M Gas N2: 20 SEC 4400 M Chamber 3: TI process Body: Wide Source lid: 8" STD Magnet: 0010-20223 Heater: 101% Shutter: Yes Cryo pump Gate valve: 2-position RF/DC Gen1: MDX-L12M Gas N2: 100 SEC 4400 M Gas N2: 200 SEC 4400 M Chamber 4: TI process Body: std Source lid: 8" STD Magnet: 0010-20258 Heater: Heater Shutter: N/A Cryo pump Gate valve: Cryo RF/DC Gen1: MDX-L12M Gas N2: 20 SEC 4400 M Gas N2: 100 SEC 4400 M Pump L/L A30W System: Leybold WSU151/D25BCS Cyro comp: 9600 Cyro pump: on board.
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一種多室批處理反應器，設計用於在半導體晶片或光伏電池上制造薄膜。AKT Endura 5500的標準配置為五個獨立的工藝室，每個室都有自己獨特的一組可控參數來調節溫度、壓力、氣流、可編程計時器和安全聯鎖。每個會議廳都可以針對正在運行的特定進程進行定制。AMAT ENDURA 5500的批次尺寸直徑可達11.5英寸（29厘米），腔室總容積可達3.8立方英尺（109.47升）。ENDURA 5500主要設計用於反應性離子蝕刻（RIE）工藝,但也可用於其他薄膜處理,如濺射、物理氣相沈積（PVD）和化學氣相沈積（CVD）。工藝室可以裝載反應物氣體，以便進行氧化物蝕刻、氮化矽蝕刻、矽酸磷玻璃蝕刻、低壓多晶矽蝕刻等蝕刻工藝。此外，Endura 5500還可用於氧化物、氮化物和光致抗蝕劑等沈積過程。AMAT Endura 5500的主要電源是三相交流電。反應堆內置了若幹環境和安全特征，以限制危險氣體的暴露。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500有一個可調的清洗循環以及一個洗滌器設備和一個真空系統，以保持工藝室的清潔和安全。它有一個緊急關閉開關和一個惰性氣體回沖洗單元，以控制處理過程中的任何火災。APPLIED MATERIALS Endura 5500專為多種工藝配方而設計，具有精確控制時間、溫度、壓力、真空、氣流等可控參數的能力。反應堆可以手動操作，也可以通過可編程控制下的閉環反饋機操作。靈活、用戶友好的軟件使用戶能夠優化流程參數以實現所需的結果。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500能夠處理復雜的半導體器件幾何形狀,包括更高的縱橫比和深溝結構。它的模塊化設計使操作員能夠方便地對反應堆進行故障排除和校準。此外,它的全自動控制工具功能允許用戶創建和存儲流程配方,優化流程參數,並輕松復制結果。
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