二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9112161 待售
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ID: 9112161
晶圓大小: 6"
優質的: 1988-2000
PVD System, 6"
Process: STD AL/TiN
Wafer type: SNNF
Buffer robot: HP
Transfer robot: HP
Wide body load lock with auto-tilt in/out
Sliding sensor kit: no
Chambers A/B:
Chamber type: cool down
Chamber lid: metal lid
Cooling method: By PCW / By Gas
Chamber C:
Chamber type: empty
Chamber process: PCII
RF generator / DC power supply 1: LF-10
RF generator / DC power supply 2: CPS-1001
RF generator / DC power supply 3: -
Turbo / cryo pump type: 361C
Chamber D: -
Chamber E: Orient / Degas
Chmaber F: Orient / Degas
Chamber 1:
Chamber type: STD body
Chamber process: TI
RF generator / DC power supply 1: MDX-L18M
RF generator / DC power supply 2: -
RF generator / DC power supply 3: -
Turbo / cryo pump type: cryo pump, 3 Phase
Chambers 2/3:
Chamber type: wide body
Chamber process: TiN, P/N: 0010-21844
RF generator / DC power supply 1: MDX-L12
RF generator / DC power supply 2: -
RF generator / DC power supply 3: -
Turbo / cryo pump type: cryo pump, 3 Phase
Chamber 4:
Chamber type: STD body
Chamber process: TI
RF generator / DC power supply 1: MDX-L18
RF generator / DC power supply 2: -
RF generator / DC power supply 3: -
Turbo / cryo pump type: cryo pump, 3 Phase
1988 - 2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500反應堆是一種超高真空設備，其設計功能是在惰性大氣中的極端溫度下處理材料。這類系統在高科技研究實驗室和工業生產中用於生產和加工精密產品。這一特定單元能夠承受高達2000 °C的溫度和超高真空範圍內的壓力。AKT Endura 5500的腔室設有多個接入點，用於插入材料、樣品和供氣。該機器的設計目的是達到較高的吞吐量速率，並將被加工材料的降解降至最低。腔室由石英管組成，允許紫外線通過表面催化反應或化學吸附研究。該腔室還包含一個加熱的機械手臂，可以在腔室周圍精確移動樣品並以變化的壓力速率和溫度進行編程。AMAT ENDURA 5500反應堆采用先進的多區加熱工具供電。這樣就可以實現近乎無擴散的加熱，從而能夠在生長矽、硼和磷化銨等材料所需的材料之間快速切換溫度。加熱資產還與機械手臂配合使用，在區域之間移動材料，同時準確快速地加熱它們。該型號采用用戶友好功能,包括觸摸屏、用於快速溫度和程序調整的嵌入式配方軟件,以及緊急壓力關閉等安全功能。總體而言，APPLIED MATERIALS Endura 5500反應堆是加工、制造、研究材料的高效通用設備。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500利用其超高真空、先進的溫度能力和多區加熱，能夠以最小的降解度快速、精確地處理各種材料。
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