二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9112164 待售

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圖為 已使用的 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 待售
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已售出
反應爐
製造商
AMAT / APPLIED MATERIALS
模型
Endura 5500
ID: 9112164
晶圓大小: 8"
優質的: 1999
PVD System, 8" Process: STD AL/TiN Wafer type: SNNF Buffer robot: HP Transfer robot: HP Wide body load lock with auto-tilt in/out Sliding sensor kit: no Chambers A/B: Chamber type: cool down Chamber lid: metal lid Cooling method: By PCW / By Gas Chamber C: Chamber type: empty Chamber process: PCII RF generator / DC power supply 1: LF-10 RF generator / DC power supply 2: CPS-1001 RF generator / DC power supply 3: - Turbo / cryo pump type: 361C Chamber D: - Chamber E: Orient / Degas Chmaber F: Orient / Degas Chamber 1: Chamber type: STD body Chamber process: TiN RF generator / DC power supply 1: MDX-L12 RF generator / DC power supply 2: - RF generator / DC power supply 3: - Turbo / cryo pump type: CTI OB-8F Chambers 2: Chamber type: wide body Chamber process: AL RF generator / DC power supply 1: - RF generator / DC power supply 2: - RF generator / DC power supply 3: - Turbo / cryo pump type: CTI OB-8F Chambers 3: Chamber type: wide body Chamber process: AL RF generator / DC power supply 1: MDX-L12 RF generator / DC power supply 2: - RF generator / DC power supply 3: - Turbo / cryo pump type: CTI OB-8F Chamber 4: Chamber type: STD body Chamber process: TI RF generator / DC power supply 1: - RF generator / DC power supply 2: - RF generator / DC power supply 3: - Turbo / cryo pump type: CTI OB-8F 1999 vintage.
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AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500反應堆是一種用於半導體器件制造的高性能、多室沈積設備。它能夠對各種底物進行廣泛的工藝應用，包括氧化物、氮化物和金屬沈積。AKT Endura 5500提供了對厚度均勻性、特征一致性和先進層對層步驟的高度精確控制,用於前沿設備制造。AMAT ENDURA 5500具有先進的真空系統和高效的再循環化學品輸送裝置，通過提高能效、均勻性、降低機器壓力和消除有害的氣體副產品，最大限度地降低總體運營成本和環境影響。它還能夠為先進的晶圓工藝控制提供具有廣泛參數的溫控基板輸送工具。ENDURA 5500室設計利用圓形幾何優化均勻性、溫度、壓力等工藝參數。其先進的氣體分裂控制使一個或兩個獨立的固體、液體或氣態試劑能夠高效且均勻地輸送。該資產還提供了先進的熱洪水冷卻工藝,以實現高效、低排放的工藝控制,並提供各種噴射器設計,以適應各種工藝條件和要求。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500提供了一個直觀的圖形用戶界面,可以快速定義和管理過程配方,並利用模型的多室參數。在生產的開發和驗證階段,廣泛的API可用於與過程監測和跟蹤集成。設備中采用的先進工藝控制算法保證了準確的生產和高產效果。Endura 5500提供卓越的可靠性和性能,在單個系統中可同時執行多達40個過程步驟。其先進的材料兼容性、工藝多功能性以及靈活、高性能，可以滿足業界最嚴格的需求。該設備專為可擴展性而設計,並與各種前體配合使用,從而方便產品擴展和提高工藝吞吐量。
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