二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9137601 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是為半導體薄膜應用而設計的業界領先的沈積設備。它提供卓越的過程控制和均勻性，快速的循環時間和優異的等離子體性能。AKT Endura 5500是低k電介質膜、氮化物鈍化層、擴散層和防潮屏障等先進沈積應用的理想選擇,是任何沈積工藝的可靠且經濟高效的工具。AMAT ENDURA 5500具有高性能的Kemlon等離子體源，能夠產生高達250瓦的射頻功率。這種強大的光源使用戶能夠生成高密度等離子體,從而在大型面板上提供精確控制的均勻厚度。該系統還配備了具有自適應運動控制功能的機器人晶圓處理單元，從而在整個過程中實現更高的精度和均勻性。此外，AKT ENDURA 5500提供出色的機器控制。通過工具的高級過程控制功能，用戶可以精確監控和調整沈積過程的所有參數。這些參數包括氣流和壓力、基板偏置和射頻功率水平。該資產采用了帶原位厚度監視器的串聯過程監視模型,使用戶能夠在該過程繼續進行時近乎實時地測量薄膜厚度。APPLIED MATERIALS Endura 5500還設計用於快速的工藝周期。設備的快速基板-傳輸系統和多區熱室允許用戶快速加熱和冷卻他們的晶片，從而減少循環時間。它還為晶圓載體和盒式磁帶提供方便、自動的連接。該部門的自動化處理技術可最大限度地減少人為幹預,從而實現更快、更準確的流程周期。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500是需要高精度、快速循環時間和可靠等離子性能的行業專業人士的理想沈積機。應用材料ENDURA 5500非常適合薄膜和先進的半導體工藝,是任何沈積實驗室必不可少的資產。