二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9142611 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500
ID: 9142611
晶圓大小: 6"
優質的: 1992
Sputtering system, 6" Process: PVD (3) Chambers Load lock type: Wide 1992 vintage.
AKT AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一種高度先進的化學氣相沈積(CVD)處理工具,設計用於半導體器件制造實驗室環境。這種600mm的工具采用熱壁CVD方法,通過將反應物氣體引入工藝室內,在基材上相互作用形成所需的產物層。AKT Endura 5500反應堆提供模塊化設計,讓研究人員根據自己的需求定制設備。該反應堆采用圍繞中心基板支架建造的四室設計運行,使研究人員能夠在單個循環中在單個基板上生成多層薄膜。AMAT ENDURA 5500通過高效和優化的加熱系統提供出色的控制水平,使其能夠達到高達1100 °C的溫度。它還具有先進的流量控制功能,有助於實現準確和可重復的蒸氣流量,以確保基材的均勻覆蓋。此外,該工具的高級溫度控制單元有助於確保加工室內的溫度分布均勻.這有助於在基板上保持一致的溫度均勻性,這對於創建高質量的薄膜層至關重要。當用於沈積應用時,APPLIED MATERIALS ENDURA 5500能夠一次生成多層薄膜,大大提高了實驗室的吞吐量。由於其強大的監控機器,它也易於監控過程條件,使得應用材料ENDURA 5500適用於手動和自動操作。此外,該工具具有高度柔韌性,可用於介電、金屬蝕刻、集成鈍化層等多種沈積應用。總而言之,AMAT ENDURA 5500是一種先進的CVD處理工具,旨在通過高質量和高精度的薄膜層沈積來實現半導體器件的生產。這款600mm的工具提供出色的溫度控制和高度精確的流量控制,有助於確保基材的均勻覆蓋。它還具有強大的監督控制資產,並且由於其模塊化設計而具有很高的靈活性,使研究人員能夠根據其特定需求定制模型。
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