二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9145241 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一種高性能反應器，設計用於先進的沈積和蝕刻應用。具體而言，AKT Endura 5500可在熱和等離子體增強沈積和蝕刻應用中實現薄膜和厚膜沈積過程以及具有挑戰性的蝕刻過程。該反應堆是為CVD和PECVD工藝步驟設計的，用於矽、氮化鈦、砷、鎢和鋁等應用。AMAT ENDURA 5500反應堆是一種開放式框架，設計用於先進的沈積和蝕刻工藝需求。這種開放式的設計可以更方便地訪問系統的內部工作,從而便於維護和更快地重新配置系統。它靈活的體系結構提供了系統集成功能，具有各種可互換的組件系統，可以很容易地互換以適應不同的需求。ENDURA 5500擁有多種熱能力，包括射頻、Helicon感應耦合等離子體（ICP）、直流電（DC）和脈沖直流偏置模式。其可調工藝參數範圍從工藝壓力、源氣體脈沖停留時間和射頻功率。它還具有獲得專利的Z軸晶片托架，可以同時容納多達12個晶片，從而提高了均勻性和更高效的處理。這種設計還可以方便地隔離沈積和蝕刻步驟。AMAT Endura 5500已被證明是一個可靠的系統,具有多種功能,可讓用戶完全控制其工藝條件。它還具有直觀的用戶界面,為用戶提供實時的過程監視、趨勢分析和預測分析,以確保過程優化。這些功能使用戶能夠靈活地撥入自己的自定義設置並優化其流程性能。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500雖然比同類系統更昂貴,但它具有真正的可擴展性,能夠滿足廣泛的需求,從高吞吐量的生產運行到更專業的工藝步驟,使其成為許多半導體和面向納米技術的組織和大學選擇投資的有吸引力的選擇。