二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9151687 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500反應堆是為半導體晶圓加工而設計的生產線規模設備的頂端。這種半導體可以處理擴散、沈積、蝕刻和氧化等最先進的制造工藝。AKT Endura 5500反應堆配備了各種技術，以幫助滿足嚴格的過程控制標準，如自動壓力控制（APC）、Endura Control和Industry 4.0支持的Smart Manufacturing。APC技術允許在系統內快速準確的壓力和流量控制，從而能夠快速、精確地完成流程。Endura Control單元提供機器監控,以便可以立即檢測和處理任何不希望發生的事件或性能變化。此外,Smart Manufacturing功能使過程集成和調度更加高效。AMAT ENDURA 5500具有允許在蝕刻過程中采用幾種不同氣體輸送策略的功能。例如,遠程等離子體具有很高的功率效率,特別有助於無功離子蝕刻,而非補償等離子體則可用於提供更精確的低功率操作。為了幫助優化蝕刻或沈積過程,AMAT Endura 5500具有一個現場監視器,可提供有關過程參數（如溫度和壓力）的實時反饋。氣箱和淋浴臺工具具有防止氣體泄漏和其他汙染的密封機構，使其非常可靠。ENDURA 5500反應堆帶有各種安全特性，減少操作失誤的風險。其中一些功能包括一系列警報和傳感器,這些警報和傳感器被監視為bya控制站、有毒的清除資產和復雜的控制模型。應用材料ENDURA 5500反應堆也根據SEMI和ISO提出的最新安全標準進行認證。它也符合包括美國環保局在內的各種環境法規的要求。總之，APPLIED MATERIALS Endura 5500 Reactor是一種高度先進的設備，旨在提供精確控制和高效性能的制造工藝。其運用多種氣體輸送策略的能力，結合其安全性和環境特性，使其成為半導體晶圓加工的理想工具。