二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9164914 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是一種手載化學氣相沈積（CVD）設備，專為廣泛的應用而設計。該系統由真空室、高壓氣體混合單元、機器人分配機和控制器組成。AKT Endura 5500主要用於半導體、微電子、微電子、能量和光學/光子元件材料的沈積和蝕刻。AMAT ENDURA 5500使用CVD工藝將薄膜沈積在基板上。CVD是利用材料蒸氣與底物的氣相反應產生沈積膜的過程。這一工藝常用於制造金屬互連、屏障層、柵極電介質等半導體材料。應用材料Endura 5500可沈積多種材料,包括氧化物、氮化物、碳化物和金屬等。AMAT Endura 5500采用三級高壓氣體混合工具。這一資產可以精確控制沈積過程中使用的工藝氣體。在典型的沈積過程中，混合模型用於將氣體移動到發生沈積反應的基板表面。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500配備了機器人分配設備，將工藝材料移動和分配到基板表面。機械臂用於將材料定位在精確的位置,以便均勻分配。Endura 5500還包括一些支持安全操作的功能,例如壓力傳感器和自動安全關閉功能。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500由集成系統所有組件的控制器控制,允許操作員監視和控制過程。該控制器與行業標準軟件包（如MATLAB和LabVIEW）兼容,以實現高級流程控制和自動化的單元集成。總體而言，AKT ENDURA 5500是一臺先進的CVD機器，設計用於材料沈積和蝕刻的廣泛應用。該工具配備了能夠精確控制過程並提供安全操作的功能。此外,ENDURA 5500與用於資產集成和流程自動化的行業標準軟件包兼容。