二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9182838 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一種多站化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於生產均勻半導體薄膜。AKT Endura 5500利用先進的設計原理，確保了薄膜沈積的均勻性和可重復性。它利用兩個獨立的加工站，一個用於沈積，一個用於蝕刻，使用戶能夠在一個工具中通過多個步驟快速處理晶片。每個工藝站由一個「工藝室包絡」和一組工藝模塊組成。工藝室包絡由氣體分布歧管、工藝管、真空室等組件組成。這些組件控制氣流和壓力，氣體均勻性和均勻性，以及系統清潔度。AMAT ENDURA 5500利用高性能的管子、旋流器、泵和阻尼器，這些都是專門為確保薄膜的均勻沈積而設計的。該系統旨在最大限度地減少與升華材料的化學相互作用，吸收和消散過程中產生的熱量進入周圍區域。它還有助於降低顆粒物汙染的風險。ENDURA 5500是高度可定制的,它提供了多種功能,旨在實現對基板溫度、工藝氣體和壓力水平的精確控制。還包括熱壁加熱塊、氣體輸送歧管、蝕刻淋浴頭等多種可選配件，針對特定應用優化沈積工藝。室內環境在沈積過程中受到高度控制，因為所有過程參數都是通過工具的XRH軟件精確監控和控制的。這使得影片質量能夠得到一致和統一的維護。應用材料ENDURA 5500是為最小的維護和最佳的壽命設計.它可以在現場提供全面服務,並且易於升級。此外,它的統一性在業界備受推崇,並提供高吞吐量和高成本效益。對於需要可靠和先進的CVD技術的半導體制造商和研究設施來說，它是一個極好的選擇。