二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9186543 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是專為半導體工業中的高級介電蝕刻而設計的全晶圓工藝反應器。該反應工具提供一流的蝕刻均勻性和對壓力、溫度和流量的高級控制。它是創建高長寬比介電特性、高生產率和卓越工藝控制的最佳選擇。AKT Endura 5500結合優越的光束產生提供卓越的性能。它在25-200攝氏度的過程相關溫度下工作,偏置電壓在0-600 VDC之間,可調節壓力範圍在0.2-1.0 torr之間。反應室采用先進的多室設計，提高了穩定性，提高了工藝靈活性。該系統采用高性能多陰極設計，為先進的介電蝕刻提供卓越的功率傳遞。反應堆提供先進的自動參數控制，使用戶能夠方便地監控、控制和調整過程參數，如溫度、壓力、流量和電壓。這有助於確保流程得到最佳調整和監控,以獲得一致和可重復的結果。它還包括高級反饋補償,提供實時脈寬調制功率控制,以提高性能和精度。AMAT ENDURA 5500配備了升級的氮冷襯裏，用於蝕刻高長寬比特征，並針對抗顆粒進行了優化，保護工藝和等離子體免受汙染。集成的Liner Shield提高了生產的一致性和效率。它還擁有先進的空氣反沖清洗系統，結合高壓空氣爆炸和增加的等離子體生成，徹底清潔工藝系統。反應堆還包括先進的用戶友好軟件。使用高性能建模,軟件幾乎可以為任何流程應用程序確定最高效的流程參數。這有助於降低可變性並優化流程以獲得最佳性能。最後，AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500是專門為高級介電蝕刻而設計的首屈一指的全晶片工藝反應器之一。它是創建高長寬比介電特性、高生產率和卓越工藝控制的最佳選擇。該反應堆包括多種先進功能，以確保用戶獲得快速可靠的結果。