二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9188759 待售
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已售出
ID: 9188759
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
PVD System, 8"
Narrow body load locks
PCII: Pre-clean
Wide body chamber: G12 source, B101 heater
Wide body chamber: G12 source, E-chuck
HEWLETT-PACKARD Robots buffer / Transfer
Chamber F: Orienter / Degas
Chamber A: PT
Chamber B: CD
Chamber 2: WB With shutter
Chamber 3: WB
1997 vintage.
AKT (AMAT) AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是為材料沈積和蝕刻應用而設計的集成半導體反應器。它具有在先進的沈積和蝕刻加工中提供卓越的吞吐量、精度和控制的長期記錄。AKT Endura 5500改進了半導體加工,具有大的等離子體腔室,允許擴大源氣量,對工藝和輔助氣源進行高精度溫度控制,以及最先進的軟件功能。該反應堆能夠支持各種工藝,使客戶能夠提高薄膜和高密度互連(HDI)制造的效率和可擴展性。AMAT ENDURA 5500是一個模塊化平臺,支持多個沈積和蝕刻過程。它是一款具有多種優勢的高生產率設備,包括5米寬的大弧室、保證多源性能一致的氣體註入系統,以及提高產量和提高工藝重復性的高精度氣流管理單元。此外,該機器還具有集成的起重室和輔助組件,這些組件完全可定制以滿足客戶需求。APPLICED MATERIALS Endura 5500還具有集成的高矩陣瞄準(HMA)對準工具,可快速準確地檢測組件。HMA使得保證基板均勻性更容易,保證晶圓放置和對準精度。此外,APPLIED MATERIALS ENDURA 5500還配備了先進的運動控制功能,能夠快速制造多層,同時確保精確的對齊和均勻性。AKT ENDURA 5500是一種高度可靠、動態、行之有效的資產,可以幫助客戶在半導體行業中實現沈積和蝕刻加工的最高性能水平。模型的模塊化設計允許完全可定制的硬件功能,這些功能可以根據客戶的需要輕松定制,滿足其特定的流程要求。憑借其先進的技術,Endura 5500提供了最高的精度級別,同時提高了吞吐量和流程可重復性。它是尋求靈活性、控制性和質量的現代半導體制造中心的理想選擇。
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